Turbomolekulárne olejové vývevy a systémy

KONTAKT

VAKUUM BOHEMIA SK s.r.o.
Streďanská 3631/65
955 01 Topoľčany

Tel: +421 907 313 800
Tel. servis technici: +421 907 313 800
Tel. pohotovost: +421 907 313 800

E-mail: info@vakuum-bohemia.sk

Turbomolekulárne vývevy Welch sa používajú na výrobu vysokého vákua (HV) a ultra vysokého vákua (UHV) až do medzného tlaku 1 × 10^-10 mbar s vysokou rýchlosťou čerpania.

Okrem štandardných turbomolekulárnych vývev radu SST, ponúkame turbomolekulárne čerpadlové systémy v kryte (rad CDK), ďalej mobilné vyhotovenie s dvojstupňovou olejovou rotačnou predvývevou alebo membránovou vývevou (rad STP).

Princíp turbomolekulárnej olejovej vývevy

Turbo molekulárna výveva premiestňuje molekuly plynu tým, že im udeľuje mechanický impulz. Veľmi rýchlo rotujúce lopatky zrážajú molekuly plynu do nižších stupňov. Kompresný pomer (t. j. rozdiel tlakov) na vstupe a výstupe je malý, a preto je nutné zaradiť za sebou niekoľko stupňov a použiť čo najvyššie otáčky (viac než 30 000 min^-1). Vývevy sa nezaobídu bez predčerpávania, ktoré môžu poskytnúť dvojstupňové olejové vývevy, alebo jednostupňové vývevy v kombinácii s Rootsovou vývevou. Vývevy sú vhodné na vytváranie vysokého a ultra vysokého vákua. Turbomolekulárne vývevy sú alternatívou k difúznym vývevám, proti ktorým majú výhodu „čistého“ vákua (bez olejových pár).

Ponúkame tieto 2 typy turbomolekulárnych systémov:

Kompaktné turbomolekulárne čerpacie systémy CDK

Ide o kompletné vývevy na generovanie vysokého vákua a ultra vysokého vákua. Systémy CDK sa vyznačujú kompaktným dizajnom a používateľsky prívetivým ovládaním vákuového systému.

Všetky jednotlivé komponenty vákuového systému boli dôkladne navrhnuté pre túto funkciu. Turbomolekulárne vývevy SST sú vybavené hybridnými valivými ložiskami (keramickými guľôčkami) s pevným mazaním, ktoré zabraňujú podtlaku, znečisteniu tukmi, olejmi alebo ich rozkladnými produktami. To znamená, že konštrukcia vylučuje zvyškové uhľovodíkové plynové spektrum.

Všetky systémy turbomolekulárnych čerpadiel CDK majú automatické vypínacie zariadenie pre predvývevu. Predvýveva sa automaticky vypne, keď je v nádobe dosiahnutý maximálny tlak. Solenoidový ventil, v prednom vákuovom potrubí na turbomolekulárnom čerpadle, je súčasne uzatvorený. Tým sa zabráni spätnému odvzdušneniu turbomolekulárneho čerpadla a nádoby.

Medzi ich kľúčové vlastnosti patrí:

Životnosť vývev je až 10 000 prevádzkových hodín.
Hladina zvuku je výrazne znížená najmenej o 3 dB (A).

Prevádzkové náklady na spotrebu energie sú znížené, obzvlášť zreteľné pri použití niekoľkých turbomolekulárnych vývev CDK.

Kompaktní turbomolekulární čerpadlové systémy CDK

Mobilné turbomolekulárne čerpacie systémy STP

Tieto mobilné jednotky sú určené na rýchle generovanie vysokého vákua.

Turbomolekulárna výveva, regulátor a vákuometre sú namontované na stredovom hliníkovom profilovom stĺpiku v optimálnej pracovnej výške. Predvýveva je pevne uložená na mobilnej základnej doske, do ktorej je pripojený aj profilový stĺp. Vákuové zariadenie (nádoba) môže byť buď prírubové – namontované priamo na sací otvor turbomolekulárnej vývevy, alebo môže byť výveva odstránená z držiaka na profilovom stĺpiku a pripojená priamo k nádobe.

Mobilita systému umožňuje umiestnenie čo najbližšie ku komore, čo znamená, že je potrebný len krátky čas vákuovania. Krátke vákuové vedenie zaručuje nízke straty prietoku a následne vysokú rýchlosť čerpania z nádoby.

Všetky turbomolekulárne vývevy STP/D majú automatické vypínacie zariadenie pre prednú vákuovú membránovú vývevu. Kombinácia predbežného vákua sa vypne, keď je v nádobe dosiahnutý maximálny tlak. Solenoidový ventil, v prednom vákuovom potrubí na turbomolekulárnej výveve, je súčasne uzatvorený. Tým sa zabráni spätnému odvzdušneniu vývevy a nádoby.

Medzi kľúčové výhody tohto systému patrí:

Jednoduchá obsluha
Mobilita pre prácu na viacerých pracoviskách
Systém všetko v jednom
Pripravené na prevádzku (plug and play)

Mobilní turbomolekulární čerpací systémy STP

Systémy mobilných turbomolekulárnych vývev obsahujú:

SST turbomolekulárnu vývevu s integrovaným nízkym vákuovým stupňom.
Typové systémy vývev STP: Olejovú kombinovanú dvojstupňovú rotačnú vývevu a membránovú vývevu na elimináciu kondenzácie.
Typové systémy vývev STP/D: MP 601 T suchobežnú trojstupňovú membránovú vývevu.
Predný vákuometer MRV 100 s meracím snímačom CAP 121 na automatické vypínanie (pre typ STP/D).
Solenoidový ventil v prednom vákuovom potrubí na turbo molekulárnej výveve (pre typ STP/D).
Hliníkový profilový pilier s upevňovacími a pripevňovacími prvkami, namontovaný na mobilnej základnej doske.

Tabuľka modelov radu CDK

Model	Prietok [m3/h]	Max. vakuum [mbar]	Príkon [kW]	Pripojenie	Otáčky [ot. / min]	Váha [kg]	Rozmery [(d x š x v) mm]
CDK 240	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 240/1	50	0,0000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 240/1 UHV	50	0,00000005	N/A	KF 40	N/A	16	193 x 344 x 400
CDK 263/1	77	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400
CDK 263/1 UHV	77	0,00000005	N/A	ISO-K 63	N/A	15	193 x 344 x 400

Tabuľka modelov radu STP

Model	Prietok [m3/h]	Max. vakuum [mbar]	Príkon [kW]	Pripojenie	Otáčky [ot. / min]	Váha [kg]	Rozmery [(d x š x v) mm]
STP 1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP 5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700
STP D1.1	250	0,0000005	N/A	ISO-K 63	N/A	20	480 x 500 x 700
STP D5.1	900	0,0000005	N/A	ISO-K 100	N/A	25	480 x 500 x 700

Služby VAKUUM BOHEMIA SK s. r. o.:

Servis vákuovej techniky u zákazníka
Opravy a repas turbomolekulárnych vývev
Návrh a dodávka turbomolekulárnych vákuových systémov
Školenia v oblasti vákuových riešení

Servis vákuovej techniky:

Predaj turbomolekulárnych vývev a vákuových technológií
Prenájom turbomolekulárnych vývev a systémov
Predaj príslušenstva (tlmičov, filtrov i frekvenčných meničov)
Poradenstvo v oblasti vákuových technológií

Využitie turbomolekulárnych vývev a systémov v praxi:

Zostava dokáže generovať vysoké a ultravysoké vákuum, a preto sa využíva aj v metalurgii, kde sa aplikuje v procesoch ako vákuové leptanie, naprašovanie a naparovanie.
V oblasti pivovarníctva a sladárstva sa tieto technológie používajú v analytických skúšobných laboratóriách, kde sa pomocou nich vykonáva množstvo analytických rozborov.
V oblasti nanotechnológií a výrobe polovodičov sa táto technológia uplatní pri elektrónovej mikroskopii (SEM, TEM), systémoch Focused Ion-Beam (FIB) a technikách povrchovej analýzy.
Vývevy bývajú súčasťou detekčných zariadení, kde je potrebné vytvoriť hlboké vákuum na odstránenie vlhkosti.
Pri hmotnostných spektrometroch je používaný dvojstupňový vákuový systém. Prvý stupeň zaisťuje rotačná olejová výveva a druhý môže zaistiť turbomolekulárna výveva.
Realizácia nanotechnológií a diagnostika ich produktov vyžaduje vytvoriť prostredie s nízkym tlakom a v mnohých prípadoch s hlbokým vákuom. To dokážu generovať turbomolekulárne olejové vývevy a systémy.
Pre povrchové úpravy organických a minerálnych sklenených šošoviek je potrebné vo vákuovej komore vytvoriť vákuum až 10^-4 Pa. Na čerpanie sa tu používajú turbomolekulárne a difúzne vývevy.