Vákuové technológie ULVAC

Suchobežné skrutkové vývevy ULVAC

Ponúkame tieto modelové rady:

ULVAC LS je inovatívna skrutková suchobežná výveva, ktorá je vybavená dvojicou kužeľovito tvarovaných oceľových skrutiek s premenlivým stúpaním, čo umožňuje čerpanie v blízkosti atmosférického tlaku. Výveva je až o 1/3 ľahšia než bežná skrutková výveva a je určená prevažne pre čisté aplikácie. Môže však slúžiť aj ako predvýveva vákuových systémov.

ULVAC CR sú vzduchom chladené suchobežné vývevy určené pre čisté i mokré procesy. Zariadenia sú schopné odčerpať až 500 g/h vodnej pary (alebo čistého plynu). Pre tieto vlastnosti sú vhodné ako zdroj vákua pre vákuové sušičky, naprašovacie zariadenia a odparovacie systémy.

ULVAC série LR, HR a UR sú špeciálne konštruované suchobežné vývevy, ktoré sú určené pre aplikácie, kde je potrebné vykurovacie plynové, alebo výfukové potrubie. Pre túto schopnosť sú vyžadované v PVD procesoch a CVD povlakovaní. Môžu tiež slúžiť aj ako predvývevy pre turbo molekulárne a mechanické posilňovacie vývevy.

ECO-SHOCK je príslušenstvo pre modely suchobežných vývev ULVAC LR/HR/UR. Zariadenie umožňuje znížiť spotrebu energie až o 80 %. Podporuje čerpanie vzduchu, dusíka a inertných plynov ako je napríklad argón. Pripája sa k výfukovému potrubiu.

Medzi typické využitie suchobežných vývev patrí:

Bližšie informácie o suchobežných vývevách ULVAC ►
 

Mini vývevy ULVAC

Ponúkame tieto modelové rady:

ULVAC DTC sú malé vývevy určené na laboratórne použitie. Všetky kontaktné diely sú vyrobené z PTFE alebo FPM, čo umožňuje čerpanie korozívnych plynov. K dispozícii sú v štyroch vyhotoveniach s rýchlosťou čerpania od 20 do 240 litrov/min. Medzi kľúčové výhody patrí chemická odolnosť, jednoduchá údržba a nízka cena.

ULVAC DA je malá univerzálna suchobežná výveva vhodná pre množstvo laboratórnych aplikácií od manipulácie s doštičkami, až po nekorozívne laboratórne čerpacie potreby. Zariadenie umožňuje reguláciu čerpacej rýchlosti.

Membránová mini výveva ULVAC DAU/DTU ponúka vysoké vákuum s čerpacími rýchlosťami až 23 l/min pri 60 Hz. K dispozícii je v dvoch vyhotoveniach. Model DTU – odolný proti korózii a tvrdým plynom. Vývevu možno použiť aj ako predvývevu pre turbomolekulárnu vývevu.

ULVAC DAP sú malé vývevy určené pre rôzne jemné manipulačné operácie. Vývevy obsahujú gumovú membránu, ktorá umožňuje veľmi čisté a bezolejové vákuové prostredie. Vývevy DAP sú k dispozícii v štyroch vyhotoveniach s rýchlosťou čerpania od 6 do 18 l/min.

Mini vývevy ULVAC DOP sú ideálne zdroje vákua pre vákuové skľučovadlá, pinzety a ďalšie automatické manipulačné aplikácie. K dispozícii sú vo vyhotoveniach s rýchlosťou čerpania od 44 l/min do 140 l/min.

ULVAC DIS je univerzálna „dvojito ovinovaná“ výveva, ktorá dosahuje vysokú úroveň suchého vákua a pracuje pri atmosférickom tlaku. Medzi jej vlastnosti patria nízke vibrácie, nízka hlučnosť a vysoká rýchlosť čerpania. Vývevu možno použiť ako samostatnú vývevu alebo ako predvývevu pre turbomolekulárnu vývevu.

ULVAC DISL vytvára vákuum pomocou špeciálneho špirálového mechanizmu. To umožňuje vyššiu čerpaciu rýchlosť, nižší konečný tlak, nižšiu spotrebu energie a menej hluku. Vývevy dokážu vyvinúť čerpaciu rýchlosť až 520 l/min.

Medzi typické využitie mini vývev patrí:

Bližšie informácie o mini vývevách ULVAC ►
 

Olejové rotačné vývevy ULVAC

Ponúkame tieto modelové rady:

ULVAC GHD je uzatvorená rotačná olejová výveva s motorom pripojeným cez magnetickú spojku. To zaručuje zamedzenie úniku z tesnenia hriadeľa, čo vedie k predĺženiu životnosti celého zariadenia. Výveva je navyše vybavená integrovaným spätným ventilom na ochranu proti spätnému toku oleja.

ULVAC GLD je vysoko spoľahlivá a výkonná rotačná olejová výveva s priamym pohonom. Vyznačuje sa nízkou hlučnosťou a nízkymi vibráciami. Výveva je vybavená ochranou proti spätnému toku oleja a plynovým predradníkom na zvýšenie výkonu čerpania vodnej pary.

ULVAC GCD je korózii odolná rotačná olejová výveva určená na čerpanie toxických a korozívnych plynov a roztokov. K dispozícii je v troch vyhotoveniach s rýchlosťou čerpania od 50 do 200 l/min.

ULVAC VS sú tiché vákuové riešenia vhodné pre nepretržitú prevádzku pri vysokých tlakoch. K dispozícii sú vo verzii s vodným alebo vzduchovým chladením. Vývevy boli navrhnuté špeciálne na prevádzku s nízkymi vibráciami.

ULVAC VD sú veľkokapacitné olejové rotačné vývevy s tichým motorom a jednoduchou údržbou. Výveva obsahuje systém nútenej cirkulácie oleja, ktorý zaisťuje stabilnú čerpaciu rýchlosť pod atmosférickým tlakom.

ULVAC PVD je kompaktná pásom poháňaná rotačná výveva s vynikajúcimi vlastnosťami evakuácie. Toto vákuové riešenie vyniká nízkou vibráciou, nízkym hlukom, jednoduchou údržbu a konzistentným čerpacím výkonom.

Medzi typické využitie olejových rotačných vývev patrí:

Bližšie informácie o olejových rotačných vývevách ULVAC ►
 

Vývevy s rotačným piestom ULVAC

Ponúkame tieto modelové rady:

ULVAC PKS sú robustné olejové vývevy s technológiou rotačného piesta. Teleso zariadenia je vyrobené z vysoko kvalitnej zliatiny, ktorá poskytuje pevnosť a odolnosť proti oteru.

Demontáž a opätovná montáž na údržbu je jednoduchá, rovnako ako kontrola výfukových ventilov. Vývevy sú k dispozícii len v jednostupňovom vyhotovení.

Vývevy dokážu vyvinúť čerpaciu rýchlosti od 96 do 420 m³/h (od 1 600 do 7 000 l/min).

Medzi typické využitie piestových vývev patrí:

Bližšie informácie o piestových vývevách ULVAC ►
 

Rootsove vývevy ULVAC

ULVAC PRC je veľkoobjemová mechanická posilňovacia výveva pre čisté aplikácie. Výveva nepoužíva žiadny olej v čerpacej komore, čo prináša stabilný výkon aj pri odvádzaní vodnej pary alebo rozpúšťadiel. Modely radu PRC-A sú určené pre univerzálne, polovodičové a tekuté kryštálové zobrazovacie procesy, ktoré vyžadujú extrémnu čistotu. Mechanické posilňovače môžu zvýšiť rýchlosť čerpania v rozmedzí 10 kPa až 0,1 Pa.

Rootsove vývevy ULVAC PMB-D sa uplatňujú ako mechanické posilňovače rýchlosti čerpania a limitov vstupného tlaku. Všetky modely sú vybavené priamym pohonom a univerzálnym elektromotorom, na ktorom je možné meniť otáčky. Podľa požiadaviek môžu byť povrchy hlavných častí vývevy vybavené povrchovou úpravou, čo zaistí odolnosť proti korózii.

Modely UKVAC PMB-040C & 060C sú vhodné na veľkoobjemové odsávanie, ktoré je vyžadované vákuovými vykurovacími zariadeniami, ako sú taviace pece, alebo vákuové simulačné komory.

ULVAC MBS je malá kompaktná posilňovacia výveva s motorom s magnetickou spojkou. Toto bezkontaktné tesnenie znižuje spotrebu energie o 60 % a zaistí nulový únik oleja. Medzi výhody riešenia patria malé rozmery, nízka hmotnosť, odolnosť proti korózii, tichý a plynulý chod a čisté vákuum.

Medzi typické využitie Rootsových vývev patrí:

Bližšie informácie o Rootsových vývevách ULVAC ►
 

Difúzne vývevy ULVAC

Hľadáte difúzne zariadenie pre vysokorýchlostné čerpanie veľkého množstva plynu? Potrebujete dosiahnuť extrémne vysokú rýchlosť čerpania? Hľadáte vývevu, ktorá dokáže generovať vysoké a ultra vysoké vákuum?

Ponúkame tieto 3 modelové rady:

Difúzna výveva ULVAC PBL dosahuje maximálne rýchlosti čerpania na úrovni 10 – 1 Pa. Telesá modelov sú vyrobené z ušľachtilej ocele, ktorá eliminuje koróziu a zaisťuje dlhú prevádzkovú životnosť.

Difúzne olejové vývevy radu ULVAC PFL disponujú spoľahlivou konštrukciou s nízkym spätným tokom prevádzkovej tekutiny a nízkymi nákladmi na prevádzku. Vynikajú vysokou a stabilnou rýchlosťou čerpania. Sú ideálnym riešením pre veľkoplošné vákuové zariadenia, ako sú vákuové pece.

Rad ULVAC ULK bol navrhnutý špeciálne pre aplikácie a inštalácie, kde je obmedzená výška inštalácie vývevy. Puzdrá čerpadiel sú vyrobené z nehrdzavejúcej ocele a vnútorné prvky parných potrubí sú z hliníka.

Medzi typické využitie difúznych vývev patrí:

Bližšie informácie o difúznych vývevách ULVAC ►
 

Héliové detektory netesností HELIOT 900

Tento rychlý a všestranný vakuový detektor je navržen pro rychlé testování netěsností. Může být používán buď jako samostatná jednotka ve sniffer módu, nebo může být připojen k PLC systému jako součást integrovaného systému pro testování netěsností. Heliový detekto je dodáván v malém přenosném provedení s bezdrátovým tabletovým ovladačem.

Systémy plazmového spalování

Pri výrobe polovodičov je potrebné odstrániť fotorezistívny lak z leptaných plošných spojov a elektronických súčiastok. To sa vykonáva pomocou plazmového spaľovania. Pri tomto PVD procese vzniká popol, ktorý je potrebné odsať. Na tento účel sa používajú systémy plazmového spaľovania.

Ponúkame predaj a servis plazmových spaľovacích systémov ULVAC radu ENVIRO (ENVIRO 1Xa, ENVIRO 1Xa 2C a ENVIRO Optima) a radu Luminous NA (Luminous NA-8000, Luminous NA-1300 a Luminous NA-1500).